- Visión General
- Fotos detalladas
- Parámetros del producto
- Perfil de la empresa
Información Básica.
Descripción de Producto
Características del producto
·Alta precisión;
·Ordenador de sobremesa, tamaño pequeño, integrado,
·Hardware y software personalizables para satisfacer las necesidades del sector;
·La elasticidad es adecuada para varias formas y bases;
Introducción del producto
La máquina litográfica de paso LSLM-500 es un dispositivo utilizado para hacer circuitos integrados (ICS), que puede formar millones de componentes microscópicos de circuito en la superficie de pequeñas obleas silicónicas, una parte importante de un proceso complejo.
Uso principal: La litografía escalonada puede usarse para reducir la escala del patrón de la máscara sobre la superficie del sustrato que se va a exponer. Puede ser ampliamente utilizado en el desarrollo y producción de circuitos integrados pequeños y medianos, componentes semiconductores y dispositivos de onda surfaceacústica.
Principales especificaciones: El patrón de máscara puede reducirse 5 veces en la misma proporción de la exposición; ancho de línea mínimo: 500nm; puede cooperar con una variedad de modelos de resistencia positiva y negativa a la luz.
Materiales de pulverización: metales al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, Pt, AG, TI, ta; Aleación de NiFe, CoFee, CoFeBNiMn, FeMn, TbFeco: Óxidos MgO, etc..
Aplicaciones: Circuitos integrados pequeños y medianos; componentes de Semiconductor Desarrollo y producción de dispositivos de onda acústica superficial;
Parámetro de especificación
Proyecto | Contenido |
Tamaño de la viruta | Cuatro pulgadas, seis pulgadas, ocho pulgadas, doce pulgadas |
Fuente de luz de exposición | LED UV |
Fuente de luz de onda | 365 nm |
Poder de resolución | se desarrollaron sucesivamente 500 nm,400 nm y 300 nm |
Precisión de enfoque | 150 nm |
Multiplicador de escala | 1:5 |
Modo de exposición | Proyección de pasos |
Tamaño de la función unifomidad (CDU) | ±10% |
Dimensiones | 170 cm*130 cm*180 cm |
El Instituto de Investigación de Tecnología fotoeléctrica de Resound (LSRPTR), también conocido como Instituto de Investigación de Resound, está afiliado con China Haiheng International Trade Group Co., Ltd. (CHHGC). Como empresa de atracción de inversiones en la Ciudad de Ciencia y Tecnología de Zhongyuan y unidad de construcción del Laboratorio Aurora de Zhongyuan, el instituto está comprometido con la industrialización de los logros científicos y tecnológicos, guiados por la demanda del mercado.
Cooperación técnica
El Instituto de Investigación de Resound ha establecido cooperación técnica con numerosas universidades nacionales y extranjeras, institutos de investigación y plataformas empresariales, entre las que se incluyen:Universidad de Lanzhou
Universidad de Zhengzhou
Altai Universidad Técnica Estatal de Rusia
Universidad Politécnica del Noroeste
Academia China de Ingeniería
Academia de Ciencias de Henan
China Electronics Technology Group
Grupo CGN
Universidad de Xiamen
Universidad de Henan
Universidad Nacional
Universidad de Ciencia y Tecnología Electrónica de China
Academia China de Ciencias
Academia China de Física de Ingeniería
China Grupo de Construcción naval
China Electronics Group
Grupo de Inspección Henan
Campos de investigación y desarrollo
* aplicaciones de la tecnología micro-electromecánica y litográfica* Tecnología de optoelectrónica y espectroscopia
* Tecnología de preparación de dispositivos y láser de alta potencia
* aplicaciones de instrumentos nucleares y sistemas de equipos de emergencia
Introducción a las tecnologías y productos avanzados
El Instituto de Investigación de Resound introduce continuamente nuevas tecnologías y productos avanzados en escenarios de aplicación industrial como la supervisión del mercado, la seguridad pública, el monitoreo ambiental, y la ciencia, la educación, investigación y producción. Esto ha llevado a la formación de una base industrial de equipos científicos de alta gama de producción nacional que integra el diseño, la investigación y
desarrollo, producción, ventas y servicios. Esta base impulsa la iteración de la tecnología de la industria de aguas abajo, mejora el nivel de transformación e industrialización de los logros científicos y tecnológicos, y proporciona fuentes tecnológicas para el desarrollo innovador.